真空爐完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質(zhì)層的清潔表面。這對(duì)于那些在刃磨時(shí)僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關(guān)系極大。對(duì)環(huán)境無污染，不需進(jìn)行三廢處理。爐溫測(cè)定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達(dá)到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強(qiáng)制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。真空淬火（回火、退火）就是通過把材料或零件在真空狀態(tài)下按工藝規(guī)程加熱、冷卻來達(dá)到預(yù)期性能的一種處理方法。真空釬焊即在真空狀態(tài)下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點(diǎn)溫度以上，但低于基體金屬熔點(diǎn)溫度，借助于填充金屬對(duì)基體金屬的濕潤(rùn)和流動(dòng)形成焊縫的一種焊接工藝（釬焊溫度因材料不同而異）。

真空爐，機(jī)電一體化程度高。在溫度測(cè)控精度提高的基礎(chǔ)上，工件移動(dòng)、氣壓調(diào)節(jié)、功率調(diào)節(jié)等均可預(yù)先編程設(shè)定，按步驟實(shí)施淬火和回火。

真空爐能耗顯著低于鹽浴爐。現(xiàn)代先進(jìn)的真空爐加熱室采用優(yōu)質(zhì)隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內(nèi)，節(jié)能效果顯著。