高壓電源，又名高壓發生器，一般是指輸出電壓在五千伏特以上的電源，一般高壓電源的輸出電壓可達幾萬伏，甚至高達幾十萬伏特或更高。

高壓電源用途很多，主要包括了X光機高壓電源，激光高壓電源，光譜分析高壓電源，無損探傷高壓電源，半導體制造設備高壓電源，毛細管電泳高壓電源，無損檢測高壓電源，半導體技術中的粒子注入高壓電源、物理汽相沉積高壓電源(PVD),納米光刻高壓電源，用于離子束沉積、離子束輔助沉積、電子束蒸發、電子束焊接、離子源、直流磁控反應濺射、玻璃/織物鍍膜、輝光放電、微波處理高壓電容測試、CRT顯示器測試、高壓電纜故障測試（PD testing）、TWT測試、H-POT測試。粒子加 速 器、自由電子激光、中子源、回旋加速源器、電容電感脈沖發生網絡、Marx高壓脈沖發生器、電容充電器。

高壓電源具有微波加熱、射頻放大、納米技術應用、靜電技術應用、靜電紡絲制備納米纖維，核儀器用高壓電源等的高壓電源產品。