離子滲氮是在低真空的含氮氣氛中，以爐體為陽極，被處理工件為陰極，在陰陽極間加上數百伏的直流電壓，使之產生的輝光放電進行滲氮處理的化學熱處理工藝。離子滲氮有多種名稱，如離子氮化、輝光放電氮化、離子轟擊滲氮、等離子體滲氮等。

離子滲氮，可用于不銹鋼模具的滲氮，利用離子的轟擊作用，可以內動去除不銹鋼、耐熱鋼模具表面的鈍化膜，可直接進行不銹鋼模具的滲氮。

離子滲氮，由于離子氮化法不是依靠化學反應作用，而是利用離子化了的含氮氣體進行氮化處理，所以工作環境十分清潔而無需防止公害的特別沒備。因而，離子氮化法也被稱作“綠色”氮化法。 2)滲入速度快。由于離子氮化法利用了離子化了的氣體的濺射作用，因而可顯著地縮短處理時間(離子滲氮的時間僅為普通氣體滲氮時間的1/3~1/5)。 3)能源消耗少。由于離子氮化法利用輝光放電直接對工件進行加熱。也無需特別的加熱和保溫設備，且可以獲得均勻的溫度分布，與間接加熱方式棚比加熱效率可提高2倍以上，達到節能效果，可大大降低處理成本。