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1、等離子廢氣凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集態物質，其所擁有的高能電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發生一系列分化裂解反應，產生高濃度、高強度、高能量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧。 2、活性自由基可以有效地破壞各種病毒、中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態氧能迅速將有機廢氣分子等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，生成無害產物。