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等離子體刻蝕設(shè)備

北京埃德萬斯離子束技術(shù)研究所股份有限公司原名為北京埃德萬斯離子束技術(shù)研究所，成立于2001年，自主獨立設(shè)計了離子束刻蝕設(shè)備和雙離子束濺射沉積鍍膜設(shè)備，其自主設(shè)計的考夫曼離子源穩(wěn)定性≤±3%，刻蝕均勻性≤±5%，工件臺采用水冷控溫系統(tǒng)，溫度可以控制在5℃~25℃。