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DHPS系列直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置 裝置采用同軸二極濺射結(jié)構(gòu)，靶臺(tái)和靶距離可調(diào)節(jié)，濺射基片可進(jìn)行控溫加熱； 濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié)，可研究不同氣壓、氣源流量對(duì)薄膜濺射的影響 ；反應(yīng)腔體采用石英玻璃管，可直觀地觀察到濺射現(xiàn)象；工作氣體可調(diào)節(jié)更換， 并可多路氣體混合工作。可以完成光學(xué)薄膜材料的制備及其光學(xué)特性的測(cè)量、金 屬薄膜的制備等實(shí)驗(yàn)。 主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容： ◆光學(xué)薄膜材料的制備及其光學(xué)特性的測(cè)量； ◆金屬薄膜的制備實(shí)驗(yàn)； ◆理解直流濺射原理，掌握直流濺射薄膜材料的工藝方法。 主要技術(shù)特點(diǎn)： ◆濺射靶臺(tái)和濺射靶距離可調(diào)節(jié)，研究在不同距離時(shí)對(duì)薄膜濺射的影響； ◆濺射基片可進(jìn)行加熱，加熱溫度可控，研究基片溫度對(duì)薄膜濺射的影響； ◆濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié)，研究不同氣壓、氣源流量對(duì)薄膜濺射的影響 ◆反應(yīng)腔體采用石英玻璃管，可直觀地觀察到濺射現(xiàn)象； ◆供電電源：AC 220V，50 Hz。