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東莞白光干涉三維形貌儀

PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用國外最 先進的白光干涉掃描技術研制的納米量級形貌測量儀器，透過精密的掃描系統和自主專利的解析算法，進行樣品表面微細形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的完美結合，只需數秒鐘，就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數的測量結果。
系統采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結構支撐，具有出色的穩定性。測量過程簡便而快速，只需把被測物體放置到載物臺，聚焦出干涉條紋，按下測量按鈕即可開始整個測量過程。
標準配置采用五軸手動調整載物平臺，可依據不同測試要求做彈性調整，并可選配電動載物平臺，以實現自動定位、自動聚焦、自動縫合之大面積高精度的量測要求，樣品均不需前處理即可進行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。