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PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用國(guó)外進(jìn)的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級(jí)形貌測(cè)量?jī)x器，透過(guò)精密的掃描系統(tǒng)和自主專利的解析算法，進(jìn)行樣品表面微細(xì)形貌的量測(cè)與分析。表面顯微成像能力與高精度測(cè)量的完美結(jié)合，只需數(shù)秒鐘，就能觀測(cè)到表面的三維輪廓、臺(tái)階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測(cè)量結(jié)果。
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅(jiān)固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)便而快速，只需把被測(cè)物體放置到載物臺(tái)，聚焦出干涉條紋，按下測(cè)量按鈕即可開始整個(gè)測(cè)量過(guò)程。
標(biāo)準(zhǔn)配置采用五軸手動(dòng)調(diào)整載物平臺(tái)，可依據(jù)不同測(cè)試要求做彈性調(diào)整，并可選配電動(dòng)載物平臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)縫合之大面積高精度的量測(cè)要求，樣品均不需前處理即可進(jìn)行非破壞、高精度、快速的表面形貌測(cè)量和分析。