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設備特點：
       1上下料一體化設計節約了工人搬運石英舟及塑料硅片承載盒的勞動強度，籃具在上下料的過程中緊湊相連，循環利用，提高整機的工作效率。所有入籃及入石英舟結構均采用耐磨耐高溫自潤滑結構穩定之材料導向。高精密叉子托附，依靠硅片自 身重力入籃或入舟。大大降低了碎片率以及對載具的高精度要求
      2機器重要環節采用激光傳感器精 確定為，一旦運轉偏離位置，機器自動補償矯正。既提高了穩定性，又提升了速度
      3真空吸盤采用精密耐高溫陶瓷結構，不變形、無污染、嬌片叉子采用高精度復合材料。